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文档预览： 趋势与展望93-高k材料用作纳米级MOS晶体管栅介质薄层(下) 翁妍,汪辉98-塑封...摘要:随着45nm及32nm技术节点的来临,高介电常数(high k)材料成为代替SiO2作为栅... 点击下载

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