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矽材料单电子元件的制作
下载该文档 文档格式:PDF 更新时间:2011-05-11 下载次数:0 点击次数:1
本文发展了一套简易的方法制作可运作 单电子电晶体。利用电子束在电子阻剂(electron... 氧化法 (pattern dependant oxidation) 设计并制 作了许多的单电子元件。最近,偶...
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