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精密微位移工作台的设计与性能分析
下载该文档 文档格式:PDF 更新时间:2010-04-02 下载次数:0 点击次数:2
在微位移技术中 ,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的...微纳米加工技术的发展 , 尤其是各种光刻技术的发展 ...已发表论文 8 篇 .(上接第 43 页 )6结论(1) ...
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