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氮化硅纳米薄膜非平衡热导率的实验研究
下载该文档 文档格式:DOC 更新时间:2009-09-08 下载次数:0 点击次数:2
关键词:氮化硅薄膜;热导率;非平衡;3ω方法The experimental study of None-equi... 单位:(m薄膜a b c d eSi3N4 (450nm) 2000 5 400 100 200 (1) 2000...
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